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　　1.亂流式：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀況。此型式適用于潔凈室等級1000-100000級。

　　長處：結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)締形成本不高，潔凈室擴大比較簡單，在某些特殊用途場所，可并用無塵作業(yè)臺，提高潔凈室等級。

　　缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制造產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)中止作業(yè)再激活，欲到達需求的潔凈度，往往須耗時適當長的時刻。

　　2.層流式：層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由掩蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需求較高的環(huán)境運用，一般其潔凈室等級為1-100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻面之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下賤側(cè)污染較嚴峻。

　　長處：結(jié)構(gòu)簡單，作業(yè)后短時刻內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

　　缺陷：締造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴大。

　　(2)筆直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業(yè)人員所發(fā)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌鳂I(yè)區(qū)域。

　　長處：管理簡單，作業(yè)開始短時刻內(nèi)即可達穩(wěn)定狀況，不易被作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。

　　缺陷：結(jié)構(gòu)費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架適當占空間，修理更換過濾器較麻煩。

　　3.復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈地道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或作業(yè)區(qū)域100%掩蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝作業(yè)費用。此型式需將作業(yè)人員的作業(yè)區(qū)與產(chǎn)品和機器修理予以隔離，以防止機器修理時影響了作業(yè)及質(zhì)量，ULSI制程大都選用此種型式。潔凈地道還有二項長處：

　　A.彈性擴大簡單；

　　B.修理設備時可在修理區(qū)容易履行。

　　(2)潔凈管道：將產(chǎn)品流程通過的自動出產(chǎn)線圍住并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化出產(chǎn)線比較適宜運用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(3)并裝部分潔凈室：將潔凈室等級1000-100000之亂流潔凈室內(nèi)的產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10-1000級以上，作為出產(chǎn)之用；潔凈作業(yè)臺、潔凈作業(yè)棚、潔凈風柜即屬此類。

　　潔凈作業(yè)臺：等級1-100級。

　　潔凈作業(yè)棚：為在亂流式的潔凈室空間內(nèi)以防靜電的通明塑料布圍成一小空間，選用獨立的HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為較高級的潔凈空間，其等級為10-1000級，高度在2.5米左右，掩蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可以彈性運用。

文章源自    廣東凈化工程：http://unwwvt.cn/